X射線熒光光譜法的定量分析是以熒光X射線的強度為依據(jù)的，因此，一切影響X射線熒光光譜儀射線強度的因素都必將影響分析的準(zhǔn)確度。

1、基體效應(yīng)

基體效應(yīng)包括吸收效應(yīng)及增強效應(yīng)兩種效應(yīng)。

吸收效應(yīng)包括基體對入射X射線的吸收及對熒光X射線的吸收。因為用入射X射線激發(fā)樣品時，它不只是作用于樣品表面而且能穿透一定的厚度進(jìn)入樣品內(nèi)部，同樣，樣品內(nèi)部分析元素產(chǎn)生的熒光X射線，也必須穿過一定厚度的樣品才能射出。顯然，在穿透過程中，這兩種X射線都會因基體元素的吸收而使其強度減弱，入射X射線強度的減弱會影響對分析元素的激發(fā)效率，而X射線熒光強度的降低則直接影響分析準(zhǔn)確度。

若入射X射線使某基體元素激發(fā)所產(chǎn)生的熒光X射線的波長稍短于分析元素的吸收邊，它便會使分析元素ipA發(fā)產(chǎn)生二次熒光X射線，從而使分析元素的熒光X射線強度增強，這就是墓體的增強效應(yīng)。

如果吸收效應(yīng)占主導(dǎo)地位，則分析結(jié)果偏低，如果增強效應(yīng)占主導(dǎo)地位，則分析結(jié)果偏高。

2、不均勻效應(yīng)

不均勻效應(yīng)系指樣品顆粒大小不均勻及樣品表面光潔度對熒光X射線強度的影響。對于粉末樣品，大顆粒吸收效應(yīng)強，小顆粒吸收效應(yīng)弱，因此，要求顆粒粒度盡量小一些，以減少對X射線的吸收。測員短波X射線時，一般要求粒度在250目以上，‘測量波長大于0.2nm的長波x射線時，則要求粒度在400目以上。

固體塊狀試樣的喪而一定要磨平拋光，對粉末試樣則要求壓實并使表面平滑。粗糙表面會使熒光X射線的強度明顯下降。測量短波X射線時，要求光潔度在1005m左右，測量長波X射線時，光潔度為20-50Mm。